CERAVAC CTR 100 N電容薄膜真空計
——真空壓力測量和原理
隨著真空應用領域的拓展,對真空變送器量程的要求達到2000毫巴至10-12毫巴,測量范圍達16個數(shù)量級。
由于物理特性的原因,沒有一個單獨的真空計能夠在整個壓力范圍內(nèi)進行定量測量。因此,萊寶真空提供一系列采用不同設計的具有各自特有測量范圍(測量原理應用直接壓力測量和間接壓力測量)的真空計。
直接()式壓力測量與被測量的氣體類型無關。利用機械方法,通過作用于薄膜表面的壓力進行測量。
間接壓力測量通過測量氣體也壓力有關的性質(zhì)(例如熱導率,電離概率)進行間接測量的,因此間接壓力測量的結(jié)果取決于具體的氣體類型。測量讀數(shù)是以空氣或氮氣為測量氣體時的讀數(shù),對于其他氣體,可利用修正因數(shù)修正測量讀數(shù)。
萊寶真空變送器控制簡單,極易與系統(tǒng)集成。
萊寶真空計的優(yōu)勢:
可靠性高
操作簡單
測量結(jié)果重復性好
持續(xù)監(jiān)測若干測量地點
安裝簡單并且節(jié)省成本和空間
測量地點和加工站之間的傳輸距離變長(可達100米)
通過數(shù)字/模擬接口將數(shù)據(jù)傳輸至PLC/計算機
符合電磁兼容性(EMC)要求
符合國際標準和規(guī)程(CE,UL,RoHS,WEEE等)
CERAVAC系列電容薄膜真空變送器適用于腐蝕性工藝。
優(yōu)勢
Inconel全金屬膜片,可靠耐用
精度高,重復性好
長期穩(wěn)定性好,耐沖擊不漂移
測量原理
電容薄膜真空計
量程范圍
10-5-1000Torr